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三氯氢硅精馏工艺改造浅析

期刊名字：中国石油和化工标准与质量
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论文作者：李刚
作者单位：宁夏石嘴山市国电宁夏太阳能有限公司
更新时间：2023-03-13
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论文简介

通过对原设计改良西门子合成粗氯硅烷精馏工艺的改造,确保了整个工艺系统连续稳定地生产出高纯度硅料的三氯氢硅中间体,同时较原工艺年节约成本约1400万.

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三氯氢硅精馏工艺改造