半导体薄膜生长实时监控系统的设计与应用

文章分析了半导体薄膜生长工艺流程的特点.在此基础上,为实验室的ECR-MOCVD设备设计了一套半导体薄膜生长的实时监控系统, 介绍了系统的硬件结构以及在WIN98环境下用VB6.0实现生长实时监控系统软件的实现方法.经实验证明,系统保证了工艺流程的连续可靠运行,实验数据的可靠性和工艺流程的可重复性也大大提高,使用方便,降低了试验人员的劳动强度,实现了预期的设计目标.