四氟化硅的生产概况

四氟化硅(SiF4)是电子工业中的一种重要原料,它还能用作光导纤维、太阳能电池和水泥硬化剂等的原料.详细介绍了SiF4的物理、化学性质及危险特性.SiF4的工业生产方法主要有硫酸法、六氟硅酸盐热解法和Si-HF直接合成法3种.电子工业用SiF4需要有较高的纯度,重点介绍了SiF4的精制工艺,同时还介绍了SiF4经济概况.