CuO-ZnO异质结半导体陶瓷气敏机理的研究 CuO-ZnO异质结半导体陶瓷气敏机理的研究

CuO-ZnO异质结半导体陶瓷气敏机理的研究

  • 期刊名字:功能材料与器件学报
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  • 论文作者:胡英,周晓华,魏红军
  • 作者单位:西安电子科技大学技术物理学院
  • 更新时间:2023-03-25
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论文简介

CuO-ZnO异质结气敏传感器是一种新型的气敏传感器,它有成本低、工艺简单、检测方便等众多优点.本工作主要研究了CuO和ZnO不同比例情况下,该传感器的气敏性能.测试了它的阻温特性及在不同温度、不同气氛条件下器件的灵敏度,并从理论上对测试结果及敏感机理进行了分析和讨论.

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