DMD微镜非线性特性数值模拟

DMD微镜系统的动态特性分析是非常复杂的,这是因为在系统中存在静电和机械两个非线性耦合的物理场.文中首先分析了无阻尼微镜系统的固有频率;然后采用直接积分法详细分析了系统的相轨迹曲线以及系统的正弦激励响应,通过数值模拟发现系统的相轨迹存在一个稳定点和一个非稳定平衡点;在正弦激励下,系统的共振频率随施加电压增大而减小、振动平衡位置随电压增大发生偏移等现象.