氢等离子体处理对 ZnO光电性质的影响

借助于霍尔效应、拉曼散射、光致发光及电致发光测试技术，研究了氢等离子体处理以及随后的高温退火过程对ZnO薄膜及ZnO纳米棒光学及电学性质的影响。实验结果表明：氢在ZnO薄膜中不仅充当浅施主，而且还可以钝化晶界处缺陷相关的非辐射复合中心，从而使得载流子浓度及迁移率增大，近带边紫外发光增强。然而，钝化晶界的氢热稳定性较差，500℃时已经完全扩散出ZnO薄膜，因此，500℃退火后载流子迁移率及近带边紫外发光强度迅速减弱。