低温等离子体诊断分析 低温等离子体诊断分析

低温等离子体诊断分析

  • 期刊名字:电工材料
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  • 论文作者:唐恩凌,张庆明
  • 作者单位:沈阳理工大学装备工程学院,北京理工大学爆炸科学与技术国家重点实验室
  • 更新时间:2023-03-20
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论文简介

低温等离子体是空间主要环境之一,近年来被广泛应用于材料表面改性、能源、航空、环境科学及国防等方面.本文介绍了等离子体诊断的常用方法和适用范围.认为准确进行等离子体诊断取决于两大因素:一是测量准确度(灵敏度);二是测试系统对等离子体产生的扰动较小.

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