射频鞘层中等离子体浓度对离子动量的影响

利用射频鞘层模型,推出了离子到达被加工材料表面时的动量的表达式.利用表达式分析了离子轰击材料表面的动量与等离子体浓度的关系.理论分析与实验数据有较好的吻合.等离子体浓度的增大对鞘内离子动量起抑制作用:随等离子体浓度(1015～1016 m-3)增加,离子动量(10-22～10-21kg·m·s-1)减小.等离子体浓度较小(约3×1015m-3),其作用越来越平缓.