半导体器件的温度测量

测量正在工作的半导体器件温度有很多种方法.这些方法大概可以分为三类:电学方法、光学方法和物理接触方法.介绍了各种方法的物理基础,并且对每种方法的优势、劣势以及空间解析度及需要特别注意的问题等进行了讨论.