仿真技术在半导体生产调度中的应用

对半导体制造系统的调度策略进行分析研究,在现有的产品排队策略研究的基础上,根据半导体生产的实际情况,同时考察机器在处理不同种类产品切换时间,建立仿真模型,通过仿真结果得出系统的主要生产性能参数.比较分析综合调度策略对系统生产性能的改善和提高.