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等离子体技术在材料中的应用

期刊名字：武汉科技大学学报
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论文作者：陈大凯，刘静
作者单位：材料与冶金学院,
更新时间：2023-03-20
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论文简介

简述等离子体的物理概念及其获得方法.重点介绍等离子体技术在材料领域中的表面改性,并论述了PCVD法涂Si的原理及动力学和热力学问题.

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等离子体材料表面改性