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分子沉积膜的制备与应用

期刊名字：机械工程材料
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论文作者：王德国，冯大鹏，兰惠清，张嗣伟
作者单位：石油大学机电工程学院
更新时间：2023-01-17
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论文简介

随着微型机械、高密度磁记录技术的发展,其器件的润滑及磨损成为制约其发展的一个关键问题.纳米复合薄膜有望解决这一问题.对化学法制备纳米复合薄膜的方法进行了综述,重点对分子沉积膜的发展及应用进行了概述,提出了分子沉积膜今后的发展趋势.

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纳米薄膜自组装分子沉积膜