三氯氢硅的生产技术与研究进展

论文简介

通过对国内外三氯氢硅的生产技术与研究进展进行评述,提出了三氯氢硅生产工艺的改进方法.三氯氢硅的生产方法有硅氢氯化法和四氯化硅氢化法,其中硅氢氯化法最为成熟.三氯氢硅氯化合成法工艺的关键是要在生产过程中,添加高效催化剂、优化精馏提纯工艺、采用合成尾气回收新技术,以增加收率、提高质量、降低成本.

论文截图

版权：如无特殊注明，文章转载自网络，侵权请联系cnmhg168#163.com删除！文件均为网友上传，仅供研究和学习使用，务必24小时内删除。