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SOI技术及其设备

期刊名字：电子工业专用设备
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论文作者：翁寿松
作者单位：无锡市罗特电子公司
更新时间：2022-10-01
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论文简介

介绍了SOI技术的特点和制造方法、超薄SOI技术,应变硅S0I技术及其设备,如大束流专用氧离子注入机.

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SOI技术超薄S0I 应变硅S0I 大束流专用氧离子注入机