光学平面绝对检验方法的研究

应用两种方法对三个高精度平面进行了测试.第一种方法是Fritz的三面互检法,它利用Zernike多项式的特性拟合三个面四次组合测量得到的干涉图,然后求出三个面的Zernike多项式系数,从而得到三个面的面形偏差.第二种方法是奇偶函数法,根据函数的奇偶性,把平面的面形函数分解为四类:偶奇、奇偶、偶偶和奇奇函数,分别求出各分量,从而得到三个面的三维面形偏差.对两种方法都编制了理论模拟和实测程序,并进行了实验,实现了无参考面的高精度平面面形测试.