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CBIR在半导体测量中的应用

期刊名字：中国高新技术企业
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论文作者：张健
作者单位：西北工业大学明德学院
更新时间：2023-03-23
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论文简介

文章简要讨论了CBIR在半导体测量中的应用.从半导体生产测量的特点入手,阐述了利用CBJR进行半导体某些参数测量的可能性和实际意义,在此基础上提出了下一步工作进展的方向,以实现用数字化指导生产实践的目标.

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CBTR 半导体测量侧壁 SEM图像