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对真空环境镀膜机器人技术条件的分析

期刊名字：制造业自动化
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论文作者：王锡哲，白学普
作者单位：兰州真空设备有限责任公司,北京机械工业自动化研究所
更新时间：2022-09-11
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论文简介

介绍了一种用于真空环境下的真空镀膜机器人,并对其主要技术指标及在真空环境下机器人的所需的技术条件进行了分析论述.

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真空镀膜磁控溅射机器人