超声换能器的设计及性能检测

论文简介

在超声键合系统中,超声换能器是键合装备的核心部分.基于等效电路法和解析法设计超声换能器.获得换能系统的基本结构尺寸;采用阻抗分析仪与多普勒测振仪对系统进行性能分析.实验表明实测频率与设计频率吻合,换能系统阻抗为21.3 Ω,振动位移达到3.7 μm,满足超声芯片封装的工艺要求.

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