添加剂对铜沉积过程的影响

用线性扫描伏安法、循环伏安法、XRD及SEM研究了添加剂Cl-、骨胶(Glue)和硫脲[(NH2)2CS]在铜沉积过程中的行为.结果表明:当Cl-、Glue、(NH2)2CS单独存在于电解液中时,Cl-的去极化作用使铜沉积反应的峰电流密度增大;Glue和(NH2)2CS的极化作用使铜沉积反应的峰电流密度降低,峰电势负移;当Cl-、Glue和(NH2)2CS共存于电解液中时对铜沉积过程有较强的极化作用,会降低铜沉积反应的极限电流密度和峰电流密度.SEM和XRD测试表明:过量的硫脲会改变铜沉积的晶面择优取向,使铜结晶粒度变大.