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硒化氢的性质及制备方法

期刊名字：低温与特气
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论文作者：夏山林，保松，孙基成，苗兴
作者单位：中昊光明化工研究设计院有限公司
更新时间：2023-01-16
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论文简介

硒化氢可用于集成电路制造过程中的原材料、掺杂气体和还原气.由硒化氢直接与锌合成的硒化锌是重要的红外光学材料之一,是高功率CO2激光器系统中光学器件的首选材料.介绍了硒化氢的几种制备方法并对每种方法做了评价.

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