超声技术在半导体行业中应用探隶
- 期刊名字:电子工业专用设备
 - 文件大小:
 - 论文作者:宋伟峰,成龙,刘永进,关宏武
 - 作者单位:中国电子科技集团公司第四十五研究所
 - 更新时间:2023-03-24
 - 下载次数:次
 
					论文简介
				
			
晶片的洁净程度直接决定了晶片的价值,而晶片最前端工艺就是清洗。现代化超声技术的应用可让晶片更洁净。超声波清洗的功率、频率、尺寸、安装方式的选择都与晶片清洁程度有着密切关系。主要对超声波的原理和频率的选定进行了介绍。
					论文截图
				
				上一条:半导体桥电热性质初探
					
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