超声技术在半导体行业中应用探隶 超声技术在半导体行业中应用探隶

超声技术在半导体行业中应用探隶

  • 期刊名字:电子工业专用设备
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  • 论文作者:宋伟峰,成龙,刘永进,关宏武
  • 作者单位:中国电子科技集团公司第四十五研究所
  • 更新时间:2023-03-24
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论文简介

晶片的洁净程度直接决定了晶片的价值,而晶片最前端工艺就是清洗。现代化超声技术的应用可让晶片更洁净。超声波清洗的功率、频率、尺寸、安装方式的选择都与晶片清洁程度有着密切关系。主要对超声波的原理和频率的选定进行了介绍。

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