超声技术在半导体行业中应用探隶
- 期刊名字:电子工业专用设备
- 文件大小:
- 论文作者:宋伟峰,成龙,刘永进,关宏武
- 作者单位:中国电子科技集团公司第四十五研究所
- 更新时间:2023-03-24
- 下载次数:次
论文简介
晶片的洁净程度直接决定了晶片的价值,而晶片最前端工艺就是清洗。现代化超声技术的应用可让晶片更洁净。超声波清洗的功率、频率、尺寸、安装方式的选择都与晶片清洁程度有着密切关系。主要对超声波的原理和频率的选定进行了介绍。
论文截图
上一条:半导体桥电热性质初探
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