氧化锡甲烷传感器的研究

以SnO2为本底,掺杂以Pd、Sb、Y、Nb等元素并进行外层催化处理,催化层由Al2O3和Pt组成,研制成能够探测(50～10 000)×10\+\{-6\}甲烷、抗干扰性非常好的半导体气体传感器.这种传感器对C2H5OH、H2、CO等气体的灵敏度很低.在催化层和底层敏感材料之间涂覆一层SiO2、α-Al2O3隔离层,大大提高了传感器的稳定性.