半导体气敏陶瓷的研究方法 半导体气敏陶瓷的研究方法

半导体气敏陶瓷的研究方法

  • 期刊名字:太原理工大学学报
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  • 论文作者:边志华
  • 作者单位:太原理工大学
  • 更新时间:2023-03-24
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论文简介

以SnO2为基体材料的气敏元件为例,总结了半导体气敏陶瓷元件的制备过程和研究方法,分析了掺杂、热处理和表面修饰工艺对气敏元件性能的影响,介绍了气敏元件性能的实验和检测方法.

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