JB/T 7266-1994 容积真空泵 性能测量方法

J78中华人民共和国机械行业标准JB/T7266-94容积真空泵性能测量方法1994-07-18发布1995-07-01实施中华人民共和国机械工业部发布中华人民共和国机械行业标准JB/T725-94容积真空泵性能测量方法本标准等效采用国际标准ISO1607/I-1980《容积真空泵性能测量方法第一部分:体积流率(抽速)的测量)和ISO1607/I—1980《容积真空泵性能测量方法一第二部分:极限压力的测量》主题内容与适用范围本标准规定了容积真空泵抽气速率、极限压力、消耗功率和工作温度的测量方法本标准适用于极限压力低于100pa,并能直接向大气空间排气的容积真空泵(以下简称泵)的性能测量。2术语2.!抽气速率(体积流率)在理想状态下,单位时间内流经泵口的气体体积。实际应用中,抽气速率(s)定义为:泵按规定条件运转,从试验罩流过的气体流量(q)与规定位置上的平衡压力(P的比值,简称抽速,即2.2极限压力泵按规定条件运转,在不引入气体的试验罩内趋向稳定的最低压力,P2.3试验罩指装在泵口上的具有规定形状和容积的容器。经过计量的试验气体通过它充入泵内,其上装有微调阀和真空计。24消耗功率泵按规定条件运转,泵温平衡后,对应于泵入口压力所需要的功率2.5工作温度泵按规定条件运转并在极限压力下,在排气阀附近测得的平衡温度,℃3测量装置3.1试验罩罩为圆筒形(见图1a)其内径为D高为1.5D,试验气体入口位于罩的轴线上并背向泵口,与法兰平面距离为D。真空计〔或规管)连接管距法兰平面为05D,并垂直于罩轴线。單的容积(V)至少应是泵的一个压缩周期扫过容积v)的五倍。罩与泵口之间需要连接一个长度不超过05D的异径管接头(见图1b)。不同规格的泵适用的试验罩由表1给出3.2真空计根据所测压力选用不同种类和精度的真空计。其校准精度为:压力高于或等于1Pa,在士5%以内;压力低于1Pa,在士10%以内。机械工业部19940718批准1995-07-01实施JB/T7266-94接辅助气阀0.1DnD中泵口直径b图1表编号Vp LDD0~0.26l.3100>0.26~1.15.41603>1.1~4.2212504>4.2~17844005>17~653256306>65~260130010003流量计根据所测流量,选用不同种类和规格的流量计。其测量精度为:流量大于1W,在士3%以内;流量介于1~10-W之间,在士5%以内;流量小于10-4W,在±10%以内。3.4功率表和电流互感器功率表和电流互感器应具有一级精度,并具有计量部门签发的有效证书。3.5温度计测量工作温度的温度计误差不大于士1℃。4测量条件测量时应符合以下条件:JB/T7266-94.泵实际转速与额定值之差不大于±3%;b.泵液种类和数量应符合设计要求c.水冷泵的冷却水流量和温度应符合设计要求;d.环境温度在15~25℃之间测量期问波动不大于士1℃;e.测量气体为室内空气,相对湿度不大于75%;f.测气镇泵时,其掺气量应符合设计要求测量方法5.1抽气速率测量5.1.1原理采用“定压法”测泵的抽气速率。即在测量流量过程中,罩内压力保持不变12步骤抽气速率测量装置如图2所示图2测量装置为了测量抽气速率,试验罩、真空计和流量计应装配到泵上。关闭微调阀,开泵运转,带气镇的泵充分气镇,关气镇阀,以1h压力不进一步下降,泵达到了平衡温度,开启微调阀把测量气体放入罩内,以建立一个设定的平衡压力,同时测定气体流量。并按式(1)计算该压力下的抽气速率。测量应从略高于极限压力的适当值开始,直至大气压或适合泵结构特点的其他压力每个压力数量级内至少测三点它们大致是255和10若测一次流量时间较长,取60s为一周期,压力应重复测量,并取其平均值。如果最高与最低之差大于平均值10%流量和压力都应重新测定。对于气镇泵,应在上述测量之后完全打开气镇阀,待泵温再一次平衡后,重新测量气镇时的抽气速率5.2极限压力测量5.2.1原理将规定的试验罩装在泵口上,在平衡温度下测罩内极限压力。5.2.2步骤极限压力测量装置如图2所示。JB/T7266-94关闭微调阀,开泵运转,在气镇情况下运转至少1h,然后再在关气镇下运转1h。在间隔30min进行压力测量,当连续三次测量结果表明压力不再变化,即算达到极限压力。分别记取压缩式真空计和全压真空计读数,保留两位有效数字。对于气镇泵,应在上述测量后,完全打开气镇阀,待泵温再次平衡后,重新测量气镇时的极限压力。53消耗功率测量5.3.1方法在各种不同入口压力下,用功率表测泵驱动电动机的输入功率,然后乘以其不同负荷下的效率,即为泵的消耗功率5.3.2步骤关闭微调阀和辅助进气阀,开泵运转,待泵温平衡后,开启微调阀和辅助进气阀,使罩内压力由低至高逐点稳定,同时测取功率值。为使测得值具有必要的精度,应避免功率表在面值二分之一以下使用。测量值应具有两位有效数字。对于气镇泵,应在上述测量后,完全打开气镇阀,待泵温再一次平衡后,重新测量气镇时的消耗功率5.4工作温度测量5.4.1测量方法泵在极限压力下运转1h后,把温度计固定在排气阌附近成其他测温部位上,连续观察30min,若温度变化不超过1C,温度计指示的最终温度即为泵的工作温度。对于气镇泵,应在上述测量以后,完全打开气镇阀,继续运转1h,再行测量气镇时的工作温度。工作温度最好与极限压力同时测量6测量报告将抽气速率、极限压力、消耗功率和工作温度测量结果填写《真空泵性能测量记录表》,并绘制抽气速率-压力曲线图(见图3)及消耗功率压力曲线图(见图4)。■t10-210不带气镇一带气镇图3抽气速率压力曲线JB/T7266-940.40.210PP图4消耗功率-压力曲线JB/T7266-9附录A真空计和压力测(补充件)A1真空计根据32条对真空计精度的规定,应采用下列真空计压力低于1.3×103Pa,用标准压缩式真空计;压力介于5.3×103~5.3×102Pa之间,用油U形管真空计;压力介于1×105~5.3×10Pa之间,用汞单管或U形管真空计A2既缩式真空计采用标准压缩式真空计必须具有计量部门签发的有效证书。使用的汞必须具有99999%的纯度,并经过充分过滤、清洗和真空蒸馏,不使用时计内应保持真空采用纯度不低于99.9%的氮气来提升计内的汞。真空计与试验罩之间,不得有橡胶管和带真空油脂的玻璃阀门。计应装一只冷阱,测抽气速率时,允许不灌注冷剂。压缩式真空计采用“无标定标法”。提升汞的速度不得太快,提升结束,至少稳定1min方可读数。A3油U形管真空计油U形管真空计(见图A1)应该管径均匀,并具有1mm的分度标。测量用油20℃时,蒸气压低于0.133Pa,运动粘度低于30×10-6m2/s;密度应实际测量预抽泵的极限压力应低于0.133Pa使用前,先经过充分去气;测量时,待液柱稳定后方可读数。接预抽泵接试验罩图A1油U形管真空计6JB/T7266-94附录B流量计和流量测试(参考件)B1流量计的选用根据2.3条对流量测试精度的规定,推荐按下表选用流量计。表B1测量范围型式规格或型号WPa·L/s中151.2×10-4~1.33×10-31.2×10-1~1.3∮51.33×10-3~1.33×10-21.3~13滴管式∮151.2×10-2~1,33×10-112~1.3×102∮501.33×10-1~1.61.3×102~1.6×10中1501.2~14.31.2×103~1.4X104LZB-1014.7~45.31.5X104~4.5×104LZB-1542.7~1604.3×10~1.6×105玻璃转子式LZB-25146.7~4531.5×105~4.5×105LZB-40533.3~16005.3×105~1.6×10LZB-501600~4530l.6×106~4.5×10B2滴管式流量计滴管式流量计的结构如图B1所示。测量段长度(从刻线1到2)为200mm。测量段容积的测量精度为士1%。连接微调阀的橡胶管要尽量短而细。油槽截面积应大于180cm2。测量用油20℃时的运动粘度应低于30×106m2/s,其密度应实际测量滴管式流量计所测流量按式(B1)计算:q=Vp[1+133.32(V。-v)hY/Vp]/t…………………………(B1)式中:q—所测流量,W;V测量段容积,m3;户n实测大气压,Pa;V。—测量前滴管内从油面至微调阀封口之间的总容积,m3;h—油柱由刻线1升到刻线2的距离,mm;—用油实测密度与0℃汞的密度(1359)之比;t—油柱从刻线1升到刻线2的时间,规定取t=25~300sJB/T7266-94图B1滴管式流量计B3玻璃转子流量计玻璃转子流量计应具有1.5级精度,并应在流量60%~100%段使用,其所测流量按式(B2)计算pQP2/3600×(72)(B2)式中:q所测流量,WQ—流量计视值,m3/h;pn-实测大气压,Pa;p1—流量计标定时的大气压力,取p=101325Pa;T1流量计标定时的热力学温度,取T1=293K;T2-—流量时的热力学温度,K。附加说明本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出。本标准由机械工业部沈阳真空技术研究所归口。本标准由机械工业部沈阳真空技术研究所负责起草。本标准起草人张书范。根据国家技术监督局技监局标发(1992)549号文附件3“调整为行业标准的国家标准”,本标准代替GB63061~6306.4-86。