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ICP等离子体源天线设计

期刊名字：真空科学与技术学报
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论文作者：吴振宇，杨银堂，汪家友
作者单位：西安电子科技大学微电子研究所
更新时间：2023-03-20
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论文简介

感应耦合等离子体技术以其低气压下产生高密度等离子体的能力及良好的可扩展性成为微细加工中的重要的加工技术之一.本文提出了一种新型的三段式线圈的设计方法,对激发电场进行了数值计算.结果表明设计的天线能够在径向和方向角方向上产生均匀性良好的电场,耦合效率较高.

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感应耦合等离子体天线优化设计电场强度