DeviceNet现场总线在MOCVD设备上的应用

以MOCVD设备为例，介绍一种基于DeviceNet现场总线标准，采用远程DeviceNet扫描仪SST-END-1-C2与流量控制器、压力控制器构成现场总线控制网络。给出了DeviceNet软件设计与控制实现。使用效果表明DeviceNet是基于CAN总线技术的一种低成本的通信链接，是一种低端网络系统，具有低成本、高效率、高可靠性的特点。