盲孔深度的精确测量方法研究

当盲孔深度允差在微米量级,且其深度是相对某基准面而言时,这种深度测量一直是当前精密测量中的一个难点.根据被测对象的实际安装工况,设计出一种非接触式的多传感器组合测量法.组合测量克服了单一传感器数据的片面性和不确定性,利用多传感器对环境敏感所产生漂移的同向性抑制了单一传感器数据的漂移,提高了测量的稳定性,克服了单一传感器无法进行形位误差测量的缺陷.实验证明了该方法的可行性,测量精度优于2μm.