甲烷浓度对MPCVD金刚石膜色度的影响

运用自行设计的直接耦合石英管微波等离子体化学气相沉积(microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)装置,以氢气和甲烷为反应气体,沉积出八个金刚石膜样品.研究了甲烷浓度对所沉积金刚石膜色度的影响.结果显示随着甲烷浓度的升高,饱和纯度和色纯度逐渐升高,甲烷浓度达到5.863%时,饱和纯度和色度纯度达到最大,分别为8.5%和9.5%,之后随着CH4浓度的升高饱和纯度和色纯度开始下降.