目标识别新算法的研究与应用

文中提出一种新的目标识别算法——形状尺寸对比度滤波器算法，它是在尺寸对比度滤波器的基础上，加上目标形状特征，克服了原单一回形结构算法的局限性，使算法可准确地识别具有特定形状和尺寸的目标。针对硅片对准八字标记，介绍了算法的基本原理和结构参数设计。通过对算法的分析及工程实际应用，有效地验证了该算法识别目标的正确性，并证实其特点。