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新型电子特气并不“新”，高纯氘气(D2 )需求或持续增加

时间：2023-03-21 来源： 浏览：

新型电子特气并不“新”，高纯氘气(D2 )需求或持续增加

赵 晓 深冷空分
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过去一年里，多位特气友人向气体圈子了解高纯氘气 (D2 , Deuterium) 。 氘气被认为是特种气体行业的战略性新产品已经有三四年了，主要用于高压退火设备，以防止28nm及以下制程中因隧穿现象而产生的漏电流，已知可通过电气禁用界面缺陷来提高集成电路的速度。 氘气 还被广泛用作热处理气体，在光纤制造领域抗老化退火处理，提高抗氢老化能力，以改善光缆的寿命和亮度。

日前，韩国特种气体生产商晓星化学宣布，经过两年左右的建设工期，对重水进行提纯、电解、多次提纯，并开始性能试验和产品量产，生产出半导体级氢的同位素高纯氘。首次成功实现半导体和光缆用高纯氘气生产的本地化，并 建成年产10吨高纯氘项目，目前正在通过国内半导体制造商对产品进行质量评估。
由于半导体和OLED中氘(D2 )的使用需求不断增加，除了晓星之外， 据气体圈子了解， 韩国正在推进国产化的还有P、T、K等几家特气公司。据称， HPSP的GENI-SYS 设备，生产使用D2的高压氢气退火的韩国设备公司，将在16nm制程上加大设备投入以满足销量的持续增长。

晓星化学社长李健钟表示，“实现基于电化学和特殊气体提纯技术的高纯氘生产国产化，意义非凡”。与此同时，晓星化学的Neochem部门正在不断发现和培育新的增长引擎，以实现除NF3、20%F2/N2、D2、HCl、Cl2以外的产品多样化。为此，晓星化学计划扩建玉山工厂的NF3生产基地，分割生产基地，提高供应稳定性，同时以玉山工厂为契机，继续开发特种气体制造/精炼/分析技术的新产品。

第八期 特种气体 研修班

3月29日-31日

课程一：半导体制造 工艺整合与电子特气应用

讲师介绍：特种气体英才计划特聘导师，曾任职于中芯国际研发部，负责干法蚀刻的工艺开发，参与了40nm/28nm主要研发过程以及14nm初期研发,参与多项发明专利，迄今超过30篇中国专利获得授权，2篇美国专利获得授权。

1、 半导体材料：从PN结到晶体管

2、CMOS及典型集成电路工艺整合介绍

3、电子特气在硅基集成电路工艺中的应用

4、电子特气在第三代半导体工艺中的应用

课程二：特种气体分析与质量

讲师介绍：特种气体英才计划特聘导师，曾任职于美国特种气体公司Matheson Tri-Gas，参与全球半导体头部企业所用特气产品的分析与质量控制工作，拥有丰富的实战经验。

1、气相色谱仪/水分仪/氧分仪

2、质量观点和概念

3、质量意识及相关知识

4、质量管理工具与案例分析

课程三：特种气体产品管理

讲师介绍：特种气体英才计划特聘导师，在跨国公司从事特种气体产品管理近30年，对特种气体产品及产线建立, 转移, 试产和认证流程拥有丰富的项目经验，擅长电子特气应急响应处理、特种气体混合气充装、钢瓶及阀门知识、气体检测等技能。

1、电子特气的市场和竞争格局

2、电子特气开发要求

3、电子特气 质量管理要求

4、供应稳定保障要求

5、服务、价格和其他要求

课程四： 半导体工厂TGM

讲师介绍：特种气体英才计划特聘导师，在半导体工厂从事TCGM工作超过20年，拥有丰富的特气化运维和技术管理实战经验。

1、TGM的目标管理

2、TGM的常见问题

3、电子特气在Fab厂供气介绍

4、电子材料验证的准备与应对

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