案例分享：HELICOFLEX® DELTA—电子特气储运

客户背景

极端高纯化学品制造商

背景介绍

客户需要用于输送且加热以保持或增加流量的电子特种气体的储罐。这些储罐被设计用于输送的气体，是半导体制程中所用的任何液化压缩气体如NH ₃ 、CO ₂ 、SiH2Cl ₂ 、WF ₆ 、SiCl ₄ 、BCl ₃ 、HF、C4F ₆ 、HBr、CH ₃ F等，这些超纯化学罐需要金属密封，以满足加热和泄漏率的要求。

面临挑战

当在半导体厂运行时，密封罐被加热到180℃，以提高流动效率。因此，罐需要能够处理热量的密封件。

此外，新的、特殊的化学物质正在开发中，需要与密封和罐材料相匹配以实现兼容性。储罐密封性要求极高：

 ● 氦气泄漏率: < 1x10 ^{-1 0} cc/sec

 ● 密封系统: 可 以是螺 栓连接或者螺丝固定或者快速拆卸系统

运营工况

温度：常温~180℃；

介质： NH ₃ 、CO ₂ 、SiH2Cl ₂ 、WF ₆ 、SiCl ₄ 、BCl ₃ 、HF、C4F ₆ 、HBr、CH ₃ F；

压力：1bar； 尺寸： SS316 HELICOFLEX ^® DELTA OD2" OD4",CS2.39mm；

解决方案

根据化学物质的不同，选用材料可以是镍或316不锈钢的 HELICOFLEX ^® DELTA纯金属密封件。经过退火处理软化的HELICOFLEX ^® DELTA，有助于防止损坏法兰凹槽表面。HELICOFLEX ^® DELTA的底部也有一个 特殊的设计，以防止 DELTA 被压坍塌。

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