JB/T 6922-2004 真空蒸发镀膜设备

ICS23.160J78中华人民共和国机械行业棕准JBT6922-2004代替JBT6922-1993真空蒸发镀膜设备Vacuum evaporation coating plant2004-10-20发布2005-04-01实施中华人民共和国国家发展和改革委员会发布次煎言1范围……2规范性引用文件…3型式与基本参数…31结构形式…3.2基本参数…103.3型号4技术要求……4I工作环境条件…………11143制造要求44安全防护要求5I极限压力测量52抽气时间测量…53升压率的测量34电阻蒸发源通电试验…55电子束蒸发源通电试验…56镀膜室工件烘烤装置有效加热区均匀度的测量………6检验规剡7标志、包装、运输、贮存57.1标志72包装73运输,…74贮存5JB/T6922-2004前言本标准是对JBT6922-1993《真空蒸发镀膜设备》的修订。本标准与JB/T6922-1993相比,主要变化如下增加了原标准的“4,1工作环境条件”的内容增加了4.36、4.3.7、44.12等条款:纠正了某些错误概念,如将原标准的:“4,2.8…在产品说明书规定的参数范围内修订为“4.2.8……在产品设计要求规定的参数范围内本次修订按GB/T1.1-2000标准对JB/T6922-1993的标准格式进行了调整本标准代替IB/T6922-1993本标准由中国机械工业联合会提出本标准由全国真空技术标准化技术委员会归口本标准起草单位:北京北仪创新真空技术有限责任公司,沈阳真空技术研究所本标准主要起草人:周毅、陈月增、王砚齡,李春影本标准所代替标准的历次版本发布情况为JBT6922-1993JBT6922-200真空蒸发镀膜设备1范囿本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装运输、贮存等要求本标准适用于极限压力在5×10Pa~5×103Pa范围的真空蒸发镀膜设备(以下简称设备)2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款,凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准GBT191包装储运图示标志(GBT191-2000, eqv Iso780:1997)GBT6070真空法兰(GB/T6070-1995, eqv Iso1609:1986, Vacuum technology-Flangedimensions yGB/T1164-1999真空镀膜设备通用技术条件GB/T13306标牌JB/T1090J型真空用橡胶密封圈型式及尺寸JB/T1091Jo型和骨架型真空用橡胶密封圈型式及尺寸JBT1092O型真空用橡胶密封圈型式及尺寸JB/T7673真空设备型号编制方法3型式与基本参数3.1结构形式设备主要由镀膜室、蒸发系统、真空系统、机架、保护装置及电气控制装置组32基本参数设备的基本参数应符合表1的规定。参数名参數数值度膜室尺寸320、500°、600、630°、700、800、900、1000°.1200,1350,1600800、2000,2200.2500真空指标极限压力恢复真空抽气时间≤15(从大气压抽至7×10P从大气压抽至7×10Pa升压率工件烘烤裝置烘烤温度调节范围室温至200℃、室温至300℃,室温至350℃室温至400℃有效加热区加热均匀度注1所列镜膜室的几何尺寸,对圆惘式室体为圆筒内径对箱式室体为箱体内腔宽度,带号尺寸优先选用、其他尺寸和其他结构形式的设备可由制造厂参照上述尺寸决定。专用设备由用户与制造厂另订协议注2:本尺寸分档作为推荐值,不作考核JBT6922-200433型号设备的型号应符合JB7673的规定。4技术要求4.1工作环境条件工作环境条件应符合GBT164-1999中4的规定4.2结构要求421设备的结构应布局合理,造型美观,操作方便,便于维修422设备中静、动密封的结构形式及尺寸应符合GBT6070和JB/1090-1092的规定423在低真空和高真空管道及镀膜室上应装设真空规管,分别测量各部位的压力424如果设备的真空机组以扩散泵为主泵,应在扩散泵的进气口安装挡板或冷阱425镀膜室应有观察窗,对在镀膜过程中发生射线的设备,观察窗上应加装防射线镜片426带工件烘烤装置的设备,应有测温电极或测温装置4.27工件架旋转机构的转速应符合产品设计要求428装有离子轰击装置或宽束低能离子源装置的设备,在产品设计要求规定的参数范围内应能正常连续稳定工作30min以上42.9采用钨丝作为蒸发热源的加热器应能使蒸餿材料正常蒸发,且在蒸发过程中,加热器的几何形应不影响正常蒸发42.10设备的蒸发源工作状况应稳定,易于调节控制,对各类蒸发源(如电阻蒸发源、电子束蒸发源、离子束蒸发源、激光蒸发源、感应式蒸发源等)的技术要求应按相应的产品标准作具体规定4211设备采用低电压大电流电阻蒸发源时每个蒸发源加热器应在电压4V-20V、电流50A~180A状态下正常工作43制造要求43↑1设备的零、部件机械加工质量及焊接件质量、装配质量应符合制造厂技术文件的规定:432设备镀膜室内表面及各密封表面的粗糙度R值应不大于16m,且对工作时处于真空状态的各表面应进行有效的真空清洁处理并予以干燥。各转动件、升降机构等动作应灵活,不得有卡,滞、松抖及异常声响等现象,需用涧滑脂的动密封处应充人适量真空油脂。433设备主要零、部件的材料应符合相应的材料标准的规定434设备配套的电气装置的质量应符合制造厂技术文件的规定,并应保证设备运行和操作时安全可靠。装置中线路的排布应整齐、清晰,便于维修,设备中电器回路的绝缘电阻应符合表2的规定电压kV绝缘电阻M≥25435设备的外观质量应做到没有非功能性需要的尖角、棱角、凸起及粗糙不平表面,零、部件结合面的边沿应整齐匀称,不得有明显错位。金属零件的镀层应牢固,无脱落及生锈等现象,所有紧固件应有防锈层。设备的涂漆表面应光洁、美观、牢固,无脱落、起皮等现象。436设备中外购的配套产品,应符合相应的产品标准,并应有质量合格证。设备中自制的配套产品经制造厂检验部门检验合格后方可使用437设备中各类蒸发源、辅助离子源及离子轰击、工件旋转、工件烘烤、工件偏压、膜厚监控等装,应逐项调试和联合调试,其性能均应达到设计要求,运行可靠。工件加热到额定温度,真空室外表面温度不得高于45℃,设备运动部分应能正常工作4.4安全防护要求44.1关键部件的水冷系统应有断水或水压不足的报警装置,并与电源、真空系统、传动系统相关联部分有联锁保护机构,且保护机构的动作应灵敏、可靠44.2对装设电磁或气动阀门的设备,镀膜室充气阀与高真空阀及高真空阀与预抽阀应保持互锁,突然停电时,阀门应能自动关闭443设备及其附属的电气装置均应有接地装置,接地处应有明显标记。44在配电板上或电线管内不得用几段连接起来的电线,电线出人口及电线穿过的金属壁应用光滑的绝缘材料保护44.5设备上的电气线路及电气元件应保证不受冷却液、润滑油及其他有害物质的影响446设备运转中突然停电后,恢复供电时应能防止电器自行接通44.7在设备电气线路中,针对负载情况应有短路保护、过电流保护装置。448应用高压电源的设备,其装有高压电极的镀膜室的开启与高压线路的接通应有安全联锁装置449设备中的高压、高频以及其他有可能产生损害人体的射线的部位,应安装屏蔽装置44.10液压系统和气压系统应装设压力指示仪表及调节压力的安全装置44.11设备及其附属装置上应装设为操作和安全所必须的标牌或标记,标牌及标记应牢固,文字应准确、清晰、简单易懂44.12外露的齿轮、带轮等应有可靠的防护装置5试验方法5.1极限压力测量5.1.1试验条件a)镀膜室内为空载(即不安放被镀件,也不加装膜料),但不得拆去设备正常工作作应安装的蒸发源、工件架等:b)真空测量规管应装于镀膜室壁上或最靠近镀膜室的真空管道上c)所用真空计应为设备本身的配套者,并应在使用有效期内d)允许在抽气过程中用设备本身配有的烘烤或轰击装置对镀膜室进行除气:e)对分成卷绕室和镀膜室的卷绕镀膜设备,应在两室同时抽气时对镀膜室的压力进行测试f)对于多室的镀膜设备,应在所有真空室同时抽气时,对镀膜室的压力进行测试5.12试验方法在对镀膜室连续抽气24h,测量其压力的最低值,定为该设备的极限压力。当压力变化值在0.5h内不超过S%时,取测量表读数最高值为极限压力值,且镀膜室内各旋转密封部位处于运动状态52抽气时间测量521试验条件同51.1中的a)、b)、c)、d)522试验方法备在连续抽气条件下,在镀膜室达到极限压力之后,打开镀膜室l5min后,再关闭镀膜室对其再度抽气至本标准表1中所规定的压力值所需的时间,定为该设备的抽气时间53升压率的测量531试验条件同5L.1532试验方法设备在连续抽气24h之内使镀膜室内达到稳定的最低压力后,关闭与镀膜室相连接的真空阀,待镀膜室压力上升至p1(1Pa)时,开始计时,经1后记录P2,然后按下式计算升压率:R=B2=B……式中R镀膜室的升压率,单位为PahP镀膜室的起始压力,单位为PaP2镀膜室的终止压力,单位为Par压力由p1升至p2的时间,单位为h54电阻蒸发源通电试验螋膜室进行淸洁处理后,装入电阻蒸发源加热器及蒸发膜料,然后对镀膜室抽气至压力低于工作压力时,接通燕蒸发电源,逐渐加热,使蒸发电流达到本标准42I的規定,此时蒸发器应达到白炽状态蒸发结束后,蒸发器上的膜料应全部燕发5.5电子束蒸发源通电试验镀膜室进行清洁处琿后装入电子枪、蒸发膜料(如:高纯铝、纯钽)及样品,然后对镀膜室抽气至压力低于1×10Pa时,按照所配置电子束蒸发源的技术要求进行通电试验电子枪的试验项目应包括:电压、束流、调节范围、最大束流、电子束扫描、长期使用功率、最大功率、坩埚换位或靛转等56镀膜室工件烘烤装置有效加热区均匀度的测量启动真空系统将镀膜室抽气到工作压力,接通烘烤装置电源,当温度达到最高烘烤温度并保持0min后,在被镀工件与烘烤装置之间、距工件表面10mm处的有效加热区内,用热电偶或其他的温度传感器测量3~5点温度(能反映最大温差),各点应同时测量(允许使用转换开关)。然后求各测量点温度与平均温度最大相对偏差作为加热均匀度,其计算按式(2)x100%……∑式中G—第i点有效加热区加热均匀度t—第i点温度,单位为℃;tn个测点平均温度.单位为℃6检验规则6.1每台设备及其附属装置均须经制造厂的质量检验部门按本标准及有关技术文件进行检验,检验合格的设备应附有检验部门及检验人员签字的产品合格证书方能出厂62设备的检验分为出厂检验和型式检验621出厂检验出厂检验应逐台进行,其检验内容包括3.2、42.3、4,27、428、429、4210.43.7、4.4.1、4.42444、44.8、4.4.9、44.10、44.12等规定的项目另外,还应进行与设备配套的电气装置的空载通电试验及各用电部分的绝缘电阻检查622型式检验设备的型式检验应包括本标准第3章和第4章的全部内容JB/r6922-20046221对于可能有辐射产生的设备,制造厂应委托国家认可的专业单位进行辐射剂量的测定,确认其在允许的范围内6222设备属于下列情况下之一时,应进行型式检验)试制的新产品b)设备在设计、工艺或材料上有重大变更时c)同类产品鉴定时:d)成批量产品的定期抽查,每两年进行一次,每次抽查该批的10%(不得少于两台),如有一项不合格,则应重新抽取加倍数量的产品进行复检,如仍有不合格,则进行逐台检验63检验时的试验方法按本标准第5章的规定64检验用仪器仪表须经计量部门检定合格,并具有在有效期内的合格证明7标志、包装、运输、贮存71标志每台设备及其附属装置应在其明显部位装设标牌,标牌应符合GB/T13306的规定。其内容包括a)制造厂名称:b)设备型号及名称c)设备的主要技术指标d)制造日期及出厂编号7.2包装72.1设备包装应采取防震、防潮、防雨防尘措施,以确保设备在装卸、运输、贮存等过程中不发生损坏、锈蚀及降低精度等情况。7.22每种型式的包装箱首次使用前或包装材料有重大变动时,均应做模拟实际情况的水喷淋试验,起吊试验及颠震试验。试验后,被包装设备的质量应不受影响723设备的包装箱上应有防水且不易脱落的发货标志。设备的包装、运输作业标志应符合GB191的规定724整机包装的设备应抽成真空状态井关闭所有阀门,然后再进行包装。装箱前应将设备中的残余积水或废屑清除干净,并应保证密封面不受损伤。对未做表面防锈处理的金属表面应涂以防锈油脂725随机文件应包括装箱单、出厂合格证书、使用说明书等,且应装在不透水的文件袋内设备的运输必须保证设备及其包装不发生损伤,设备在运输过程中有可能松脱的零、部件应有防松措施。运输中应防止日晒、雨淋和剧烈震动74贮存设备应贮存在相对湿度不超过90%的通风良好的场所,该场所必须没有可引起腐蚀的酸,碱蒸气和气体存在,整机包装的设备在存放期间不得破坏真空状态