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集成电路工艺化学品标准体系探讨

期刊名字：信息技术与标准化
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论文作者：付雪涛
作者单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会电子化学品标准工作组
更新时间：2022-11-07
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论文简介

通过介绍化学品在集成电路工艺中的应用和我国集成电路工艺化学品产业现状,重点阐述了集成电路工艺化学品标准化进展,并提出了集成电路工艺化学品标准体系框架.

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化学品集成电路标准体系