JB/T 10074-2004 电阻真空计 技术条件

ICS23.160JB中华人民共和国机械行业标准JBT10074—2004代替JBT10074-1999电阻真空计技术条件Specifications of resistance vacuum gauge00403-12发布2004-08-01实施中华人民共和国国家发展和改革委员会发布JBT10074-2004目次前言2规范性引用文件3术语和定义4技术要求4.!规管的技术要求42真空计电路的技术要求直空计整机技术要求5试验方法51规管的试验方法52真空计电路的试验方法5.3整机试验6.1出厂检验…62型式试验7标志、包装、运输和贮存7.1标志装品输存出厂应随带的技术文件表!检验项目、检验方法和要求,…JB/T10074-2004前言本标准代替JBT100741999《电阻真空计技术条件》。主要技术指标参照JF10501996《工作用热传导真空计校准规范》,以及国内主要电阻真空计生产厂家提出的技术要求而制订本标准白中国机械工业联合会提出。本标准由上海市通用机械技术研究所归口。本标准起草单位:上海市通用机械技术研究所、成都瑞普电子仪器公司.成都正华电子仪器公司海市计量测试技术研究院、上海市真空学会本标准主要起草人:韩建华、陈健、辜国证、许红、黄松生。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:zBY248-1984,JBI0074-1999电阻真空计技术条件1范围本标准规定了电阻真空计(以下简称真空计)的技术要求、试验方法、检验规则等内容。该真空计由电阻真空计规管和电阻真空计电路组成。本标准适用于压强测量范围:10Pa~10Pa的真空计2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然面,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准GBT191包装储运图示标志(GB/T191-200, eqv is0780:1997)GBT4982夹紧型真空快卸法兰(GB/T4982-1985, idt ISO2861-:1974GBT65872电子测量仪器温度试验GBT6587.3电子测量仪器湿度试验GBT13306标牌JBT9329仪器仪表运输,运输贮存基本环境条件及试验方法JF1050工作用热传导真空计校准规范3术语和定义下列术语和定义适用于本标准3.1电阻真空计 resistance vacuum gauge利用加热中的热丝电阻随压强而变化的一种热导真空计。32真空计规管 vacuum gauge tube为电阻真空计的一个部分,含有热丝电阻随温度变化的敏感元件并直接与真空系统连接3.3真空计电路 vacuum gauge circuit为真空计的一部分,它由真空计控制单元和真空计指示单元组成4技术要求4.1规菅的技术要求4.1.1规管在下述环境条件下应能正常工作a)环境温度:0℃-40℃b)相对湿度:不大于80%(25℃时)412外观:规管外壳应无裂纹、锈斑或明显的气线,气泡等缺陷4.1.3电阻值:规管热丝电阻冷态电阻值的零散不应超过±2%。4.14规管与真空系统连接部分应满足下列要求4.14.1规管连接部分为圆型管道时,管道的外径应为155mm±0.5mm:BT10074-20044142规管连接部分为夹紧型真空快卸法兰时,其技术要求应符台GB/4982的规定41.5密封性:规管对氮气的漏率应不大于10°a·m3/s4.1.6规管引出线与金属外壳之间的绝缘电阻不得小于10MQ4.1.7在环境温度为23℃±3℃下,规管校准曲线在测量范围05Pa~250Pa时,与标准曲线的偏差平均值不得超过±254.2真空计电路的技术要求42.1真空计在下述环境条件和供电电源下应能正常工作a)环境温度:0℃-40℃b)相对湿度:不大于80%(25℃时)c)电源电压:220V±22V,频率50Hz±0.5Hz422真空计外观真空计机箱外壳及表面处理良好,标志的文字符号均应清晰;b)真空计的显示器应无引起测量误差的外观缺陷,如模拟式电表不应有机械零位失调、指针弯曲和卡针等现象:数字式显示器应无缺段、缺字等现象c)真空计的开关、按钮、指示灯等均应齐全、完好,所有紧固件不得松动脱落4.3真空计整机技术要求431规管和电路匹配使用时,仪器预热半小时经调整后,Ih内,在电源电压为22V±2NV时,真空计在压强测量范围05Pa~2500Pa内,示值相对误差不应超过±50%5试验方法5.1规管的试验方法51.1规管是否符合411的要求,参照GBT6587.2和GBT65873的有关规定进行512规管是否符合412的要求,用目测或相应的测量工具来进行检查513用电桥方法测量冷阻及其零散,测量时取加热电流为工作时最小电流的%。测试电路见图1。图、R2标准精密电阻,其精确度不超过±05%,R和R2取近似于R0的2倍R。——电阻真空计规管:R标准电阻箱,能分辨的电阻变化不超过0.2%R,能检测的最大电阻为R的2倍R—0k9~20k9多圈电位器:G—光点捡流计JBT100742004E—一稳定度优于02%的直流稳压电源,其值为mA—精确度为1级的直流毫安表。测量方法:在标准状态(温度23℃±3℃、湿度不大于80%)下,并在无热源、无空气对流及无振的条件下,按照规管正常使用时的安装位置放置规管。调节外电路串联电阻R及桥臂电阻R1或R2到以下状态,即l=0:这时R=R3,其R值由电阻箱读出,冷阻的零散应符合本标准43的要求。参照JF1050的有关规定进行514规管连接部分用观察或GBT4982来进行检查。5141规管连接管道的外径检测,系指离出口不小于30mm部分。用游标卡尺检测应符合414.1的要求5142用相应的检测工具来进行检查,应符合GB/T4982中有关连接盘部分的技术要求515规管是否符合415的要求,应在灵敏度不低于(5×101°)Pa·m/s的氮质谱检仪上进行检51.6规管引出线与金属外壳之间的绝缘电阻,用500V绝缘电阻表检查应符合本标准4.6要求51.7采用定压式电路配合待测规管校准,其校准系统的不确定度不超过10%。试校气体为氮气,计算单个规管校准曲线的误差取其相对值,即按式(1)、式(2)计算△=B=PP∑A式中:P压强示值:P—压强标准值△i—单个校准曲线选点对标准曲线的偏差值—按压强计算的偏差平均值n选定点测量次数零散性测试选点,在测量范围内应不少于5点:其中两头各取1点,中间取3点。经上述测试和计算,每个点的偏差平均值应符合本标准4.L7的要求52真空计电路的试验方法521真空计电路是否符合4.21的要求,参照GBT65812和GBTr65873的有关规定进行522真空计外观是否符合422的要求,用目测或相应的方法来进行检查53整机试验531在真空校准系统上检查电阻真空计显示的压强测量范围532真空计电路和规管配套,参照测规管特性曲线的方法进行整机测试,在压强测量范围的上下限之间选点,每个数量级不得少于3点,每点重复测量不得少于3次,取平均值计算示值相对误差,其示值相对误差值应符合本标准431的要求:在测试点中任选取1到2点进行1h时漂移和电源电压变化的测试,其结果应符合本标准4.3.的要求6检验规则真空计的出厂检验、型式试验项目,按表1的规定61出厂检验产品经检验全部检验项目合格,并附有产品合格证,方可出厂。JB/T100742004表1检验项目、检验方法和要求出厂检验型式试验技术要求条款试验方法条款管5.1真空计电路注:△符号为应做项目62型式试验在下列情况下,真空计应进行型式试验a)新产品或老产品转厂生产的试制定型鉴定b)产品在设计,工艺或材料上有较大改变可能影响产品性能时c)停产一年以上恢复生产时国家质量检验机构提出进行型式试验的要求时7标志、包装、运轎和贮存7.1标志每台真空计应有固定标牌,其尺寸应符合GBT13306的规定,并应标示下列内容a)制造厂名称:b)产品的型号和名称c)额定电压:d)制造年月和出厂编72包装721真空计的包装方法应保证产品在正常运输中不致损坏。产品出厂时,应有防尘保护,并做到:清洁,防潮、防霉和抗压722包装箱外表应注明:产品型号、名称、数量、小心轻放、防潮、向上和收货单位及地址、发货单位及地址、并按GBT191正确选用包装储运图示标志73产品出厂应随带的技术文件731产品合格证的内容为a)产品型号和名称:b)检验结论c)检验日期d)检验专用章732产品说明书的内容为a)主要技术参数、工作原理、性能特点、使用方法b)连接尺寸:c)安装说明73.3装箱单74运输真空计在运输包装条件下,应符合JBT9329的要求。运输过程中应防止剧烈振动、挤压及雨淋75贮存应按JBT9329所规定的要求贮存真空计