金刚石半导体研究进展
- 期刊名字:材料导报
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- 论文作者:熊礼威,汪建华,满卫东,刘长林,翁俊
- 作者单位:中国科学院等离子体物理研究所,武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
- 更新时间:2023-03-24
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论文简介
金刚石具有一系列优异的物理化学性能,特别是独特的电学和热学性能,使其在半导体领域具有极佳的应用前景.通过详细评述金刚石的各种性能,以及与其他半导体材料的性能比较,提出了金刚石在半导体器件应用领域的优势.详细介绍了金刚石半导体掺杂以及金刚石半导体器件的种类和应用,并在此基础上展望了金刚石在半导体领域的应用.
论文截图
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