合成氯硅烷精馏工艺改造

针对多晶硅生产中合成氯硅烷精馏工艺存在的问题,对其工艺进行了改造,采用Aspen Plus软件对改造后的工艺进行了模拟计算,并结合生产实际确定了较优的操作条件.与原工艺相比,工艺流程简单,设备数量减少,塔釜再沸器能耗减少23.56%,塔顶冷凝器能耗减少24.68%,合成精制三氯氢硅及多晶硅产品的合格率分别由改造前的92.1%和86.4%提高至97.5%和92.1%.