半导体ZnO单晶生长的技术进展 半导体ZnO单晶生长的技术进展

半导体ZnO单晶生长的技术进展

  • 期刊名字:功能材料
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  • 论文作者:李新华,徐家跃
  • 作者单位:中国科学院上海硅酸盐研究所,中国科学院研究生院
  • 更新时间:2023-03-24
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论文简介

ZnO单晶是一种具有半导体、发光、压电、电光、闪烁等性能的多功能晶体材料.近年来,它在紫外光电器件和GaN衬底材料等方面的应用前景而使其成为新的研究热点.本文综述了ZnO单晶助熔剂法、水热法、气相法等生长技术的研究进展,结合ZnO单晶的化学结构,探讨了该晶体的结晶习性及生长技术发展方向.

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