半导体设备预测性维修技术

预测性维修是多年来维修领域研究的重点问题,文章从一般预测维修的论点出发,分析比较了修复性维修、预防维修和预测性维修的优缺点,并列举了一些半导体设备预测性维修的措施。半导体设备生产都是流水线作业,生产中任何一台设备发生故障或者失败都会给企业带来停产,造成巨大损失。所以要对重点设备、关键设备进行监控,进行预知性维修,消除隐藏故障,避免发生重大灾难后果。预测性维修是以状态为依据的维修,在机器运行时,对它的主要部位进行定期（或连续）的状态监测和故障诊断,判定装备所处的状态,预测装备状态未来的发展趋势,依据装备的状态发展趋势和可能的故障模式,预先制定预测性维修计划,确定机器启动修理的时间、内容、方式和必需的技术及物资支持。预测性维修集设备状态监测、故障诊断、故障（状态）预测、维修决策支持和维修活动于一体,是一种新兴的维修方式。