JB/T 5610-2006 激光干涉仪

ICS17.04030备案号:190562006中华人民共和国机械行业标准JBT5610-2006代替JBT5610-1991激光干涉仪Laser interferometer2006-1014发布20070401实施中华人民共和国国家发展和改革委员会发布JB/56102006次前言1范围2规范性引用文件3术语和定义4要求5检验检验条件计计252外观及相互作用53激光干涉仪预热时间……54单次开机激光频率稳定时间55激光干涉仪准确度5.6量程57测量速度58激光波长准确度…59抗电磁干扰…6检验规则23333361型式检验62交收检验7标志、包装和储存72包装储存3333JBT56102006前言本标准代替JBT5610-1991《双频激光干涉仪》本标准与JBT5610-1991相比,主要变化如下标准的名称改为“激光干涉仪”,并重新定义了“激光干涉仪”术语:标准的范围改为“适用于几何量测量”删去了第3章中的32条“分辨率”第4章表1中的“分辨率”改称“分辨力”,分辨力改为将术语“响应速度”改称为“最大测量速度”并重新定义了“最大测量速度”术语,最大测量速度改为≥50mm/s一第4章表1中的量程改为≥1mr第4章表1中的激光波长准确度改为≤1×106激光干涉仪工作前的预热时间改为“不超过20min激光器的寿命“应不低于2年”改为“应不低于2000h”一增加了单次开机激光频率稳定8的变化量应不大于1puma明确了检验规则,将检验分为了型式检验、交收检验两种抗电磁干扰试验采用了GBT176262-1998电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试验》和GB/176263-1998《电磁兼容试验和测量技术射频电磁场辐射抗扰度试验》中规定的方法本标准由中国机械工业联合会提出本标准由全国量具量仪标准化技术委员会( SACTC132)归口。本标准由成都工具研究所负责起草,中国测试技术研究院参加起草。本标准主要起草人:邓宁、舒阳、许刚、黄小荣、薛梅、余翔本标准所代替标准的历次版本发布情况:一JBT56101991JB/TS610-2006激光干涉仪1范围本标准规定了激光干涉仪的基本参数、技术要求和试验方法等。本标准适用于几何量测量的激光干涉仪2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。GBT191包装储运图示标志( eqv Iso780:1997)GBT6388运输包装收发货标志GBT1763-1997几何量测量器具术语基本术语( neq Bs5233:1986)GBT176262-1998电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试验(idtc6100042:GBT176263-1998电磁兼容试验和测量技术射频电磁场辐射抗扰度试验( idt IEC61003术语和定义GBT17163-1997中确立的以及下列术语和定义适用于本标准3.1激光干涉仪 laser interferometer利用稳频氨氖激光器,以激光波长为基准,按迈克尔逊原理产生干涉条纹进行几何量测量的测量仪器。激光干涉仪由激光头、干涉镜、反射镜和显示器等组成最大测量速度 measurement speed保证激光干涉仪正常工作的测量反射器最大移动速度激光波长准确度 accuracy of laser waveleng山h激光波长与给定波长的相对变化量1基本参数:干涉仪的基本参数见表1数值≤0.16最大测量速度mms激光波长准确度()B/T5610200642外观及相互作用:421激光干涉仪光学件表面不应有霉、雾及影响使用的气泡、麻点、划痕等疵病,各工作表面不应有锈蚀、碰伤和镀层脱落等缺陷,各种标志、数字清晰、正确422各紧固部件应牢固可靠,无松动现象,各运动部件应灵活平稳,无卡滞。423电箱、计算机的清零、置数、显示和打印等功能应正常4.3激光干涉仪工作前的预热时间应不超过20min44激光干涉仪单次开机激光频率稳定时间应不少于8h4.5激光干涉仪准确度由以下公式计算得出:d-士[+09++09021026.4式中:8—激光干涉仪准确度,单位为m激光干涉仪的分辨力,单位为uma△/—激光波长准确度,106;A测量中空气温度不确定度,单位为℃;4—测量中大气压力不确定度,单位为Pa4f—测量中湿度不确定度,单位为Pa;L—测量长度,单位为m46激光器寿命应不低于200047激光干涉仪应具有一定的电磁兼容能力,受电磁干扰时,激光干涉仪应能正常工作5检验下述的检验方法不是唯一的,如有其他不大于本标准规定的测量不确定度的方法,也可采用,51检验条件511检验场地应无影响检验精度的灰尘、振动、气流扰动和较强磁场。51,2激光干涉仪检验时的环境温度为(20±1)℃,其变化应不大于05℃/h513激光干涉仪、检验设备及仪器应在同等温度条件下等温4h514进行准确度检测时,其环境条件还应满足:温度不确定度应不大于02℃,大气压力不确定度应不大于60Pa,湿度不确定度应不大于100Pa52外观及相互作用力观察及手感检验53激光干涉仪预热时间用计时器记录干涉仪电箱电源开启至激光干涉仪开始正常工作的时间54单次开机激光频率稳定时间将长度光学组件固定,待激光干涉仪预热完毕,即刻观察显示器的计数变化,并用计时器记录计数变化不大于1m的持续时间55激光干涉仪准确度551进行比对检测,激光干涉仪检测系统的不确定度应小于被检激光干涉仪的准确度(按照45的公式计算):取连续三次比对偏差的平均值为一组测量结果,重复5组~10组,取各组测量结果的平均值±2作为激光干涉仪准确度552比对检测至少应在量程范围内三个不同长度进行,最大比对长度应不小于1m:推荐比对长度为56量程JBr5610-2006在距干涉镜(干涉镜应尽可能靠近激光头)量程最大处置一导轨,将反射镜随导轨以激光干涉仪的测量速度移动,显示器计数应正常57测量速度以激光干涉仪的测量速度,按照55规定的方法进行准确度比对检测,检测结果应符合45的要求58激光波长准确度使用标准的63mm激光干涉仪碘稳定氮氖激光与被检激光干涉仪进行拍频检测,激光干涉仪的激光波长准确度应符合表1的要求抗电磁千扰591静电放电抗干扰度按照GBT176262-1998中1级要求检测。592射频电磁场抗干扰度按照GB176263-1998中1级要求检6检验规则检验分为型式检验、交收检验6.1型式检验在下列情况之一时,应按照本标准的全部要求进行型式检验,其中,抗电磁干扰项目按照59的规a)新研制的产品;b)成批生产的产品每三年至少检验一次c)当设计、工艺、材料等方面有重大变更时d)停止生产满一年以上再次生产时;e)国家质量监督检验机构提出进行型式检验的要求时62交收检验产品在生产完成,交与用户时,均应进行交收检验。交收检验应按42~45的要求进行检验7标志、包装和储存71标志71.1激光干涉仪上至少应标志)制造厂厂名或注册商标b)产品名称c)产品型号或标记d)制造日期或生产批号712激光干涉仪的包装标志应包括71的内容和收发货标志、包装储运图示标志。包装标志应符合GBT19和GBT6388标准的有关规定72包装721激光干涉仪的包装应有良好的防震、防锈、防腐和722激光干涉仪的包装箱中应包括产品合格证、说明书、装箱单等随机文件及干涉仪附件73储存激光干涉仪应储存在温度为40℃~+55℃,相对湿度不大于65%,无腐蚀性气体,且清洁、通风的环境中