用于液体介电常数检测的乐甫波器件测试系统

与声表面波器件和兰姆波器件相比,乐甫波器件用于液体检测时有其独特的优势.从液体的波动特性入手,建立了“压电基片-非压电薄膜-液体”3层结构的乐甫波理论模型;基于上述模型,以钽酸锂作为压电基片材料,SU-8光刻胶作为薄膜材料,实际制作了乐甫波器件;基于相位差测量方法和幅频特性测量方法搭建了测试电路,并针对不同比例的纯水和酒精混合溶液进行了测试,实验结果表明了乐甫波器件测试系统应用于液体介电常数检测的有效性.