PZT铁电薄膜的制备与性能

用sol-gel法在Al2O3基片上制备PZT铁电薄膜.研究发现,制备PZT溶胶时加入乙酰丙酮可以提高溶胶的稳定性,并抑制热处理时薄膜上裂纹的产生.薄膜在700℃热处理可以得到单一的钙钛矿结构;低温慢升高温快升的升温制度可以减少薄膜的开裂.Pt底电极的加入有利于钙钛矿相的形成.PZT薄膜电滞回线形状和Pr、Ec等随着热处理制度和薄膜厚度的变化而变化.