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U薄膜制备方法 U薄膜制备方法

U薄膜制备方法

  • 期刊名字：稀有金属材料与工程
  • 文件大小：
  • 论文作者：吕学超，任大鹏
  • 作者单位：中国工程物理研究院
  • 更新时间：2023-01-16
  • 下载次数：次
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论文简介

探讨了U薄膜的制备方法.主要介绍了机械抛光、电解抛光、机械轧制、磁控溅射沉积、离子束辅助沉积和聚焦离子束方法等,涉及了精细U薄膜的制备要求.同时,简要介绍了防止U薄膜氧化的后处理手段.

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