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模板匹配算法在半导体设备中的应用

期刊名字：电子工业专用设备
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论文作者：孙永超，柴亮，尚美杰，崔杰
作者单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所
更新时间：2023-03-25
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论文简介

阐述了机器视觉的定义,主要研究了模板匹配算法,并将其应用到半导体设备中.通过大量实验对基于形状和灰度的两种模板匹配算法进行了验证和分析,最后得出各种算法的使用条件和优缺点.

论文截图

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半导体设备机器视觉模板匹配