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半导体工厂冷水系统节能项目及管理

期刊名字：洁净与空调技术
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论文作者：丁霁波，龚凯
作者单位：上海华虹NEC电子有限公司动力部
更新时间：2023-03-25
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论文简介

重点讲述半导体工厂冷水系统中的水蓄冷及设备冷却水预冷两个节能项目；简单介绍相关设备涉及的其他节能项目,同时介绍冷水系统相关设备的节能管理,以供各位同行参考.

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半导体工厂冷水系统节能管理