JB/T 7673-1995 真空设备 型号编制方法

J78中华人民共和国机械行业标准JB/T7673-95真空设备型号编制方法1995-06-16发布1996-07-0l实施中华人民共和国机械工业部发布中华人民共和国机械行业标准JB/T7673-95真空设备型号编制方法代替ZB]8016~78019-891主题内容与适用范围本标准规定了真空泵、真空机组、真空阀门和真空镀膜机型号的编制方法。本标准适用于上述各种真空设备的型号编制。2真空设备型号组成由基本型号和辅助型号两部分组成,两者中间为横直线。各种真空设备型号的构成分述如2.1真空泵基本型号辅助型号2345|6代表真空泵级(极)数,以阿拉伯数字表示。不分级(极)或单级(极)者省略。2代表真空泵名称,以构成名称的一个(或两个)关键字的汉语拼音第一(或第二)个字母(印刷体大写)表示,按表1规定。3代表真空泵特征以其关键字的汉语拼音第一(或第二)个字母(印写)表示定或自编补充代号。4代表真空泵使用特点(多指被抽气体性质)对于可凝性被抽气体以印刷体大写字母“N“表示;对于腐蚀性被抽气体以印刷体大写字母“F”表示。无特指者省略。L5代表真空泵规格或主参数,以阿拉伯数字表示6代表真空泵设计序号,从第一次改型设计开始以字母A、B、C……顺序表示表序号真空泵名称代号关键字意义及拼音字母真空泵规格或主参数相应单位往复真空泵W“往”复“wang2」定片真空泵Di“定”片“ding”旋片式真空泵X旋”片“xuan”4滑阚真空泵H“滑阀“hua抽气速率L/s罗茨真空泵机械增压泵)21“增"E"cng,“机"械"i”6」余撄线真空泵YZ|“余摆“yu”“真"空“hen溅射离子泵L离”子“!i”8单级多旋片式真空泵KD“旋”片“xuan”,“多"duo抽气速率机械工业部199506-16批准199607-01实施JB/T7673.95续表1序号真空泵名称代号关键字意义及拼音字母真空泵规格或主参数相应单位9|分子泵F分”子“en”10油扩散真空泵K|“扩”散“kuo”1]汞扩散真空泵KG“扩”散“kuo",“汞"“gong12油扩散喷射泵〔油增压泵Z增"压“zenl3升华泵S“升“华 sheng进气口径14回旋泵(弹道泵)HX“回”“hu“旋”“x15复合式离子泵LF离子“li",“复”合式“fu”16锆铝吸气判泵GL“锆”gao”“铝lu”17制冷机低温泵DZ低"温“‘di",“制"冷“zhi18灌注式低温泵DG“低”温“d",“灌"注"guan19分子筛吸附泵IF“吸"附“xi”,“分”子“fen”分子筛重量k20水喷射泵喷”射“pen”,“水”“shui”21|空气喷射泵喷”射“pen”,空“气"“qg”抽气量kg/h22水蒸汽喷射泵P|“喷"射“pen”注:1)个别规格泵的进气口径相同而抽气速率不等则可同时标出抽气速率,单位:L/s。表2代号关键字意义及拼音字母代号关键字意义及拼音字母“卧"式“wo“凸"腔“tuwZsDC直”联“zhi”TFx“风"冷“feng”升”华器“ sheng磁“悬”浮“xuan”多”式、“多”元“duo“金”属密封“in“磁”控“ci“干”式(无油)“gan2.2真空机组(以下简称机组基本型号辅助型号1[23}451代表机组以“机”字的汉语拼音“j”的第一个字母(印刷体大写)“J”表示。2代表机组中主系名称以代号表示按表1规定3代表机组组合特征以其关键字的汉语拼音字母(印刷体大写)表示由制造厂编撰。通常可省略4代表机组中主泵的规格或主参数以阿拉伯数字表示5代表机组设计序号,从第一次改型设计开始以字母AB、C……顺序表示。2.3真空阀门(以下简称阀门JB/T767395基本型号辅助型号l234「561代表阀门使用真空范围,以其关键字的汉话拼音第一个字母(印刷体大写)表示按表3规定。2代表阀门结构型式或功能类别,以其关键字的汉语拼音第一(第二、三)个字母(印刷体大写)表示,按表4规定。3代表阀门驱动方式,以其关键字的汉语拼音第一个字母(印刷体大写)表示按表5规定,手动式省略4代表阀门通道型式以其关键字的汉语拼音第一个字母(印刷体大写)表示按表6规定,直通式省略5代表阀门规格—一公称通径,单位:mm,以阿拉伯数字表示,带充气的阀门在数字之前须添加印刷体大写字母Q。6代表阀门设计序号,从第一次改型设计开始以字母A、B、C……顺序表示。表3代号D关键字意义及拼音字母超”高真空阀“chao高”真空阀“gao”低“真空阀“di表4代号关键字意义及拼音字母代号关键宇意义及拼音字母挡”板“dang锥"形“zhuiC“插”板“cha"微"调“weiF翻"板“anQ充“气"qi隔“膜”“mo球”形“qiu蝶压”差"y表5代号CQ关键字意义及拼音字母电”动"dian”“磁”动“ci“气”动“q“液”动“ye表6代关键字意义及拼音字母“三”通式“san直“角"式“jao24真空镀膜机(以下简称镀膜机)基本型号辅助型号456JBT7673-95121代表膜层沉积原理,以其二至三个关键字的汉语拼音第一(或第二)个字母(印刷体大写)表示按表7规定。13代表镀膜机结构特征,以主要特征关键字的汉语拼音第(或第二)个字母(印刷体大写)表按表8规定或自编补充代号。4代表镀膜机用途特征,以其关键宇的汉语拼音第一(或第二)个字母(印刷体大写)表示按表9规定或自编补充代号代表镀膜室内部几何尺寸,圆筒形为∮内径x长度箱式为箱体内部尺寸长×宽×高。以阿拉伯数字表示,单位:mm6代表镀膜机设计序号从第一次改型设计开始以字母A、B、C……顺序表示表7设备按膜层沉积原理的分类代号关键字意义及拼音字母电阻加热蒸发ZZ蒸"发“heng",电“阻蒸电子束加热蒸发ZS燕”发“ zheng",电子“束“shu高频感应加热蒸发蒸“发" zheng”,“感”应“gan”发激光束加热蒸发”发“ zheng”,“激”光束“j兼有电阻蒸发源及电子束蒸发潦直流湲射覆"射“jan直直流磁控溅射JC“溅”射“ian““磁”控“ci流溅直流反应性溅射JF“”射“jan”“反“应“fan射直流吸附溅射禨”射jan",“吸"附“xi直流偏压溅射溅”射“jan",“偏”压“"pian高频洗射JG“溅”射“jan",“高”频“gao射高」高频磁控溅射IGC"射“jan”,“高”频“gao"“磁”控“ci频游高频反应性溅射JGF溅"射“jan”,“高”頻“gao”,“反”应"far射高频吸附溅射JGX溅”射“jian",“高"獗“gao”,“吸”附“xi高频偏压溅射JGP“溅”射“jian",“高”频“gao”“偏"压"pian'电阻蒸发离子镀膜LZ离“子“i”,电“阻”“zu离电子束蒸发离子镀膜LS离"子“l”,电子“束”“shu高频感应蒸发离子镀膜LG“离"子"i",“感”应“gan空心阴极离子镀膜LK“离”子“"li"“空”心“kong”溅射离子镀膜高”子“l”,“溅”射“jian积多弧阴极离子镀膜LD“离”子i”,“多”弧“duo簇团离子镀膜LC“离“子“i”“簇”团“cu低压化学气相沉积HD化”学“hua”,“低"压“di化学气等离子化学气相沉积“化”学"hua”.“离"子“li相沉积光化学气相沉积“化”学“hua",“光”" guang复兼有蒸发源及溅射源FzJ“复”合“u”“蒸”发" zheng",“溅”射“jan合式兼有不同原理沉积源F口口复合“u”,口意义见注注:表中□口分别表示几种不同沉积原理关键字汉语拼音的第一(或第二)个字母印刷体大写)。JB/T7673…95表8结构特征代号关键字意义及拼音字母平面溅射平面“ping同轴溅射同”轴"tong倒锥式溅射“倒”锥“dao"卧式“E"式“wo连续式“连”续“lian”半连续式PTAWLBDx半”连续“ban多室式“多”室“duo箱式箱"式“ xiang"注:对二极、三极或四极溅射的镀膜设备,以相应的阿拉伯数字表示,标记于型号的首位表9用途特征代号关键字意义及拼音字母塑料镀膜“塑"料“su”制镜镀膜俪“镜”“ing”硒鼓镀膜诞“鼓”“gu电阻镀膜电“阻电容镀膜sJGZRTDH电“容”“rong晶体镀膜晶“体”“ti”刀具镀膜“刀”具“dao装饰镀膜装“饰“shi光学镀膜光”学“ guang电气元件镀膜Y元”件yuan3真空设备型号示例3.1真空泵a. W--35B往复真空泵抽气速率为35L/s,第二次改型设计;b.2X-15A双级旋片式真空泵,抽气速率为15L/s,第一次改型设计;C. XD-63单级多旋片式真空泵,抽气速率为63m3/h;d.zJ—600罗茨真空泵抽气速率为600L/s;YZ—150余摆线真空泵,抽气速率为150L/s;.3L-160三极溅射离子泵,抽气速率为160L/s;g.F--160JB/T767395分子泵,进气口径为160mm;h,K-800油扩散真空泵,进气口径为800mm;i.Z-400油扩散喷射泵,进气口径为400mmj.S-400升华泵,进气口径为400mm;k.GL—100锆铝吸气剂泵,进气囗径为100mm;1.DZ-160制冷机低温泵进气囗径为160mm;m.IF—3分子筛吸附泵,装入分子筛重量为3kg;水蒸汽喷射泵型号按下例编制:n.3P0.63-50/0.6-10三级水蒸汽喷射泵。吸入压力为0.63kPa,抽气量为50kg/h,其中可凝性气体量为10kg/h,工作蒸汽压力为0.6MPa。3.2机组a. JK--400油扩散真空泵机组、主泵进气口径为400mm;b.J3L-320三极溅射离子泵机组,主泵抽气速率为320L/s;JF-250分子泵机组,主泵进气囗径为250mm。3.3门a. GDQ-J320高真空气动挡板阀,直角式,公称通径为320mm;b. DDC-JQ50低真空磁动挡板阀,直角式、带充气,公称通径为50mm;c. GI-50高真空手动蝶型阀公称通径为50mmd. DW-2A低真空微调阀,公称通径为2mm,第一次改型设计;e. CD-J25超高真空手动挡板阀,直角式,公称通径为25mm;【.CCQ-100超高真空气动插板阀,公称通径为100mm;g. CDY--320超高真空液动挡板阀,公称通径为320mm。3.4镀膜机a,ZzB-S9630×800A电阻蒸发半连续式塑料镀膜机镀膜室圆筒内径为∮630mm·长为80nn∴第一次改型设计:b.ZzW-G1000×10006JB/T7673…95电阻蒸发卧式硒鼓镀膜机,镀膜室圆筒内径为中000mn,长为1000rm;c.ZSX-S630×400×800B电子束蒸发箱式塑料镀膜机,镀膜室箱体内部尺寸长为630mm,宽为400mm,高为800mm,第二次改型设计d.JGCP—Y00×A00平面高频磁控溅射电气元件镀膜机,镀膜室圆筒内径为中00mm,长为400mme.3G—H400×400三极高频溅射装饰镀膜机,镀膜室圆筒内径为∮00mm,长为400mm;f.jCT-J2500×650×1700同轴直流磁控濺射制镜镀膜机,镀膜室箱体内部尺寸长为2500mm,宽为650mm,高为1700mm;g.LKW—D∮800×800空心阴极离子卧式刀具镀膜机,镀膜室园筒内径为800mm,长为800mm。附加说明本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出。本标准由机械工业部沈阳真空技术研究所归口并负责起草本标准主要起草人张璠、李玉英。中华人民共和国机械行业标准真空设备型号编制方法JB/T7673-95机械工业部机械标准化研究所出版发行机械工业部机械标准化研究所印刷北京8144信箱邮编10008L版权专有不得翻印开本880×1230116印张3/4字数14001996年4月第一版1996年4月第一次印刷印數00,001-500定价8.00元编号95-127