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半导体业用高效精密磨具的国产化进程

期刊名字：中国集成电路
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论文作者：刘明耀，陈峰，邱丽花
作者单位：郑州磨料磨具磨削研究所,国家超硬材料及制品工程技术研究中心
更新时间：2023-03-25
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论文简介

本文介绍了"十五"以来半导体行业高效精密加工用金刚石磨具以及相关配套产品的国产化情况,包括产品品种、型号规格、应用实例等.

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