JB/T 8233-1999 立式接触式干涉仪

免费标准下载网w.febz.net)ics 17. 180.30N34JB中华人民共和国机械行业标准JB/T 8233- 1999立式接触式干涉仪Vertical contact interferometers1999- 08- 06发布2000-01-01实施国家机械工业局发布免费标准下载网w.feebz.net)JB/T 8233- -1999前言本标准是对JB/T 8233- 9S<立式接触式干涉仪》的修订。修订时,对原标准作了编辑性修改,主要技术内容没有变化。本标准自实施之日起,代替JB/T8233- -95。本标准由全国光学和光学仪器标准化技术委员会提出并归口。本标准负责起草单位:上海光学仪器研究所,贵阳光电技术研究所。本标准于1964年5月首次发布，于1984年2月第- -次修订,于1995年调整为JB/T 8233- -95。免费标准下载网w.febz.net)中华人民共和国机械行业标准JB/T 8233- -1999立式接触式干涉仪代符JIB/T 8233- -95Vertical Co ntact interferonmetrs1范围本标准规定了立式接触式干涉仪的基本参数及尺寸、技术要求、试验方法等。本标准适用于比较法测长度的立式接触式干涉仪。2引用标准下列标准所包含的条文,通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时,所示版本均为有效。所有标准都会被修订,使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T 1162- -1989 光学分 划零件通用技术条件GB/T 15464- -1995仪器仪表包装通用技术条件JB/T9329--1999仪器仪表运输、运输贮存基本环境条件及试验方法JB/T 9342- -1999 光学计悬 仪器用测帽3基本参 数及尺寸仪器的基本参数及尺寸应符合表1的规定。表1序号名要求测量范圜mm0- 120分格值可调范围pm0.05-0.2推荐使用的分格值m0.1分划板分划范围分格目镜读数+S0投影读数土30测杆移动范围0.5测量杆与衡帽内径配合的外径尺寸mr中6g6测量力N.1.5+0.104技术要求4.1仪器外表应美观,并需保证下列质 t:a)电镀表面不应有 脱皮;b)_漆面不应有油漆脱落现象和显著的颜色不均匀;国家机械工业局1999 - 08- 06批准2000-01- 01实施1免费标准下载网w.feebz.net)JB/T 8233- -1999c)零件表面不应有 毛刺,外部零件锐边应倒校;d)外部零件接合 处应齐整,无粗糙不平现象。4.2仪器各工作面上,不应有锈蚀、碰伤、显著的划痕以及影响测量的其他缺陷。4.3光学零件的表面不应有明显的擦痕、麻点、水珠、霉点等疵病,胶合光学零件的胶合面不应有气泡和脱胶现象。4.4仪器所有 紧固件应保证固紧可靠。4.5仪器 上所有的刻度、刻字应清晰,刻线刻字的技术条件应符合CB/T 1162的规定。4.6仪器各活动部分的移动和转动应平稳，不应有卡住、松动和急跳现象。当臂架的紧固螺丝松开时,不得因自重而下降。4.7仪器电 气部分性能应良好、绝缘应可靠。4.8仪器的光学系统成像应清晰。干步带不应有明显弯曲和扇形。4.9干涉带的宽度和方向应能任意调节,调节应切实可靠。干涉带在移动中,宽度和方向不应有变化。4.10黑色干涉带移至视场边缘时,不应变级(允许摆动目镜观察)。.4.11分划板调节螺丝应能使分划板平稳地移动，其移动范围不应少于20个分格。4.12当测量杆处于自由状态时,彩色干涉带应位于分划板的负侧。4.13仪器的主要 技术指标应符合表2的规定。;表2序号指标要求0= +(0.03+1.5ni)m式中: n--分划板上受检点间的分格数;1仪器的示值误差限s分划板的分格值;被检仪器所用单色光的波长;0i-- -波长测盈误差(≤2m)2测量杆多次移动时的示值变动性<0.024m不应超过0.05μa,当外力除去后,示值偏离受力前3测量杆在径向受力2N时所引起的示值变化程度不应超过0.02+m4臂架移动的直线度≤10"工作台紧简螺丝固紧时所引起的示值变化0.5um带筋工作台与测量杆轴线的垂直度s|8带筋工作台中央筋和其他筋的相对位置中央筋应比其他筋高出0.3Am~0.64m带筋工作台和辅助工作台的相对位置带筋工作台应比镳助工作台高出0.01mm~0.0Sucm球筋工作台测头和筋条的相对位置测头应商出筋条2:m-3pm10球筋工作台和辅助工作台的相对位置球筋工作台应比辊助工作台高出0.01mm~0.05mm11平面工作台、带筋工作台和球筋工作台工作表面的0. 6um(不许凹)平面度≤|12带筋工作台中央筋工作表面的平面度用平晶研合检验时,不允许有干涉色彩13平面工作台、带筋工作台和球筋工作台工作表面0.012/的表面粗糙度≥|0.025 /14辅助工作台工作表面的表面柜糙度免费标准下载网w.feebz.net)JB/T 8233- -1999表2 (完)序号指标名际求平面工作台应能方便地调整至与平面测帽相平行，15平面工作台的可调性当测帽直径为8cm时,其平行度不应超过0.34m16辅助工作台负t500g时所引起的示值变化示值不应有交化1测量力的调整范围I0.7SN -2.7SN当分格值为0.05um时,在分划板整个分划范围内180. 02N测量力的变化<滤光片特性:波长h一530rm ~ 570hm光谢半宽度9um透过率20%披长测量误差2nm一年内最大波长变化3om4.14仪器在运输包装的条件下 ,应能符合JB/T 9329的要求。其中高温试验选用+ 55C ,低温试验选用- 40C。4.15仪器 所带各种测帽应能符合JB/T 9342中规定的对1级测帽的要求。4.16根据用户的需要,制造厂应能保证全部(或部分)供应表3中的附件。表3件称带筋工作台辅助工作台平面工作台球筋工作台平面平行平晶球面测帽中平面测帽小平面测帽中刃形测帽小刃形测帽高量块移动框低量块移动框13测力装置备用灯泡5试验(检验)方法5.1仪器进行检验时,对仪器室内温度的要求:a)仪器室内的温度应为 20C土1C ,温度变化每小时不应超过0.3C;b)被检仪 器在室内平衡温度的时间不应少于48h;c)被检仪器和检验工具 的温差不应超过0.3C。5.24.1,4.2和4.3须进行目测检验。.5.34.4,4.6,4.7,4.11和4.12须进行实际操作检验。5.4 4.8,4.9和4.10干涉带的成像质和调整的可靠性5.4.1 检验方法在测量杆上装上球面测帽,并使其与工作台面相接触,升降工作台,使黑色干涉带位于视场内,观寮免费标准下载网w.feebz.net)JB/T 8233- -1999干涉带的清晰度。然后将干涉滤光片放入光路，观察干涉带的形状。调节参考镜调整螺丝,干涉带的宽度和方向应能任意调节。然后将干涉带调至与刻线平行,升降工作台,观察干涉带移动中的变化情况。将分格值调至0.24m,巴黑色干涉带移至枕场边缘,并将目镜摆动至同-方向， 观察千涉带变级情况。5.5仪器 的示值误差限(4.13表2中第1项)5.5.1检验工具尺寸为1.00mm, 1.002mm, 1.004mm, 1.06mm, 1.008mm, 1.010m的一等量块。5.5.2检验方法检验前先将零级干涉带调至分划板- 50位处,将分格值调至0.1Pm。在测量杆上装上球面测帽,使与球筋工作台测头相接触并找到最高点。选用尺寸为1.000m, 1.002mm, 1.004mm, 1.006m, 1.008m, 1.010mm的一等块以配对法检验。受检点为土20分格。分格数可按式(1)计算:λKn=li. ...........................式中:n一-K条干涉带间隔所应包含的分格数;λ一滤光片波长;i- - 分格值。K值可按表4选择。表4分格0.050.10.2μK条81632各受检点的示值误差可按式(2)计算:δ=Eri-(L.-L)*(2)n-1式中:8-一-该受检点的示值误差;每次读数值;Er;--读数值的总和;L.-最后-块量块的实际尺寸,当检验正值段时为最大的量块的实际尺寸,当检验负值段为最小的量块的实际尺寸;L一最初用来对零的量块的实际尺寸,当检验正值段时为最小的量块的实际尺寸，当检验负值段时为最大的量块的实际尺寸;n一--使用量块的块数。5.6测量杆多次移动时的示值变动性(4.13表2中第2项)5.6.1检验工具尺寸为5mm的二等量块。5.6.2检验方法使球面测帽与工作台上5mm的量块相接触，并使黑色干涉带对在零位上,然后多次(10次)地拨动测盘杆,观察示值有无变化,示值的最大值和最小值之差不应超过本标准的规定。按照上述相同方法,还应对分划板上+ 40和- 40(或+ 30和- 30)分格两个位置进行检验。5.7测量杆在径向受力 2N时所引起的示值变化(4.13表2中第3项)5.7.1检验工具免费标准下载网w.feebz.net)JB/T 8233- -199径向加力工具。5.7.2检验方法 .将仪器的分格值调整至0.054m,使球面测帽与平面工作台相接触,并使示值对在零位。用径向加力工具进行检验(检验时的着力点应在测帽的下端,靠近测帽工作面)，同时观察仪器的示值变化,在外力除去后,观察仪器示值回原位程度。这--检验工作应分别在四个相互垂直的侧面位上进行,以最大值作为测得值。5.8臂架移动的直线度(4.13表 2中第4项)5.8.1检验工具自准直仪:准确度不低于2"。'一1一自准直仪; 2 -臂架; 3- -反射镜; 4 -五校镜; s- 平板图15.8.2检验方法按图1所示进行检验,受检位置在全长上应不少于三点，读数时应将臂架用同样的力固紧,这一检验工作应在前后、左右方向分别进行,并应分别达到要求。5.9工作 台固紧縩丝固紧时所引起的示值变化(4.13表2中第5项)5.9.1检验方法 .使球面测帽与平面工作台相接触,并对准任-示值,然后固紧工作台的紧固螺丝,同时观察示值的变化。5.10带 筋工作台与测量杆轴线的垂直度(4.13表2中第6项)5.10.1检验工具a直径为φ15mm的平行平晶;b) 三针:直径为φ1mm左右,几何形状偏差不超过14m。5.10.2检验方法使中刃形测帽长边与工作台筋条相垂直,在工作台上放置平行平晶，并在测帽与平行平晶间放置一根三针,三针应与测帽的长边相垂直。当三针在测帽与平行平晶间滚动4cm时,从分划板上读出其示值差。然后将测楣转动180重复上述检验,再次读得其示值差。两次示值差之代数和的1/2 即为其左右方庐的垂直度。将刃形测帽转动90°,使其长边与工作台筋条相平行,按上述方法再次进行检验,即测得其前后方向的垂直度。取左右、前后两个方向垂直度的最大值作为测得值。5.11带筋工作台中央筋和其他筋的相对位置(4.13表2中第7项)5.11.1检验工具开槽量块:除中心长度极隈偏差外,其余应符合四等量块要求(见图2)。5免费标准下载网w.feebz.net)JB/T 8233-19990.32/30 -. 图25.11.2 检验方法在仪器上按圈2所示的1和2两个位置上进行检验，两次示值之差即为中央筋相对其他筋的高差。5.12带筋工作 台和辅助工作台的相对位t(4.13 表2中第8项)5.12.1检验工具a) 尺寸为1mm, 1.01mm, 1.05mm的五等块;b) 1 级刀口尺。5.12.2检验方 法依次将lmm,及1.01mm,1mm及1.05mm的量块分别成对地放置在带筋工作台及辅助工作台上,用刀口尺按光隙法进行检验。此项检验工作在距带筋工作台15mm范围内进行。5.13球筋工作台测头和筋条的相对位置(4.13表2中第9项)5.13.1 检验工具与方法同5.11.1和5.11.2。5.14球筋工作 台和辅助工作台的相对位置(4.13表2中第10项)5.14.1检验工具与方法同5.12.1和5.12.2。5.15平 面工作台、带筋工作台和球筋工作台工作表面的平面度(4.13表2中第11项)5.15.1检验工具φ100mm的2级平晶;b)中60nm的开檀2级平晶(见图3)。0.36免费标准下载网w.febz.net)JB/T 8233- -19995.5.2检验方法平面工作台用φ00om平晶进行检验。带筋工作台和球筋工作台用中60Qmm的开槽平晶进行检验。5.16带筋工作 台中央筋工作表面的平面度(4.13表2中第12项)5.16.1检验工具φ60mm的1级平晶。5.16.2检验方法用平晶进行检验。5.17平面工作台 、带筋工作台和球筋工作台工作表面的表面粗糙度(4.13表2中第13项)5.17.1检验工具与方法用千涉显微镜进行检验。5.18辅助工作台工作表面的表面粗糙度(4.13表2中第14项) .5.18.1检验工具与方法5.19 平面工作台的可调性(4.13表2中第15项)5.19.1检验工具与方法将平行平晶研合在平面工作台中央,使φ8mm平面测帽与平行平晶相接触。调整工作台,使测帽与平行平晶之间的干涉带由窄变宽直至最少,此时读得的干涉帶条数不应多于-条。5.20辅助工作台负重500g时所引起的示值变化(4.13表2中第16项)5.20.1检验工具与方法使球面测犢与工作台上5am量块相接触，使仪器对在某-示值上,将仪器上所有紧固螺丝固紧,在辅助工作台的角上放置500g的砝码,观看仪器示值的变化。这一检验工作应在辅助工作台的四个角上分别进行。5.21测量力 的调整范围(4.13表2中第17项)5.21.1 检验工具与方法用砝码和本仪器附带的测力装置进行检验。5.22当分格值为0.05um时,在分划板整个分划范围内测量力的变化(4.13表2中第18项)5.22.1 检验工具天平;感量0.2g,最大载荷200go5.22.2检验方法将仪器分格值谓整至0.05Am,测量力调整至1 .5Ni+0.10N。在辅助工作台上放-天平,使测帽与托盘相接触，在另一托盘上试加砝码,使黑色干涉带位于分划板- 50位置处,再增加2g砝码后,黑色干涉带应在视场中消失。5.23 滤光片特性(4.13表2中第19项)5.23.1检验工具与方法用浏量误差不超过Inm的分光光度计进行检验。6标志、包装、运输、贮存6.1在仪器 上应标志:a)制造厂 商标(或厂名);b) 型号;c) 编号。6.2仪器的包装应符合 CB/T 15464的要求。免费标准下载网w.feebz.net)JB/T 8233-19996.3在用户遵守 保管和使用规则的条件下，从发给用户之日起一年内，仪器因制造质量不良而发生损坏不能正常工作时,制造厂应无偿地为用户修理或更换。但仪器在运输途中或仓库中不应超过三个月(即出厂之日起至开始使用之日止),否则保证期限将相应缩短。6.4随同仪 器供应的技术文件应包括:装箱单;b)仪器使用说明书;c) 仪器出厂合格证。