乙二醇辅助多层硅/硅直接键合
- 期刊名字:半导体学报
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- 论文作者:杨道虹,徐晨,沈光地
- 作者单位:北京工业大学电子信息与控制工程学院
- 更新时间:2022-09-24
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论文简介
利用乙二醇的分子结构和氢键在10万级的超净环境下成功地进行了多层乙二醇环境下的硅/硅直接键合,并在氮气保护下1100℃热处理后进行了拉力强度测试,平均键合强度达到了10MPa.SEM观测表明,在键合界面没有发现孔洞和空隙.该方法同样适用于Ⅲ-Ⅴ族化合物的直接键合.这为发展多层结构、多功能集成的MEMS结构器件奠定了良好的工艺基础.
论文截图
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