JB/T 4081-1991 溅射离子泵 型式与基本参数

中华人民共和国机械行业标准jB/T4081—91溅射离子泵型式与基本参数代替JB4081—85主题内容与适用范围本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射离子泵2引用标准GB3163真空技术名词术语GB6071超高真空法兰ZBJ78016真空泵型号编制方法3术语符号代号本标准使用的术语应符合GB3163的规定。本标准使用的符号、代号应符合zBJ78016的规定。4型式4,1本标准把二电位普通型式的溅射离子泵分为二极型泵和三极型泵。二极型泵的抽气单元由阳极筒和阴极板组成阳极接数千伏正电位阴极连同泵体接地。三极型泵的抽气单元由阳极、阴极和收集极组成阳极和收集极连同泵体接地,阴极接地数千伏负电位。4.2型号表示方法须符合ZBJ78016的规定。5基本参数5.1二极型溅射离子泵的基本参数应符合表1的规定。5.2三极型溅射离子泵的基本参数应符合表2的规定。机械电子工业部1991-07-22批准1992-0701实施JB/T403191表1型式L-15L-30L-501-100L200L300L-400L-500L-600L-700参数泵口内径40100160200m打抽气速率151003004006008001000L/s极限压力3×10-3Pa启动压力0.5Pa专用电源供电电压220注:1)泵口法兰应符合GB6071规定表2型式3L-103L203L-403L-803L-1603L-3203L4803L-640参数泵口内径1)40100160200mm抽气速率)1080160320480640L/s极限压力3×10启动压力0.5专用电源供电电压220注:1)泵口法兰应符合GB6071的规定。2)泵对的抽速应不小于其名义抽速的20%。附加说明本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出并归口。本标准由机械电子工业部沈阳真空技术研究所负责起草。本标准主要起草人冯玉国。