JB/T 4082-1991 溅射离子泵 技术条件

中华人民共和国机械行业标准B/T4082—91溅射离子泵技术条件代替JB4082—851主题内容与适用范围本标准规定了普通型式的溅射离子泵的技术要求检验规则、试验方法、包装贮存等。本标准适用于JB/T4081所规定的二极型(L型)和三极型(3L型)的溅射离子泵(以下简称泵2引用标准GB6071超高真空法兰GB191包装储运图示标记JB/T4081溅射离子泵型式与基本参数JB2965溅射离子泵性能试验方法JB 8产品标牌3技术要求3.1泵必须按经规定程序批准的设计图样及有关技术文件要求制造,并配有专用电源。32泵口法兰必须符合GB6071的规定。33泵体内壁和泵内部件在总装前必须按清洁超高真空处理工艺的规定进行处理。34泵体必须经氦质谱检漏仪检漏,不得有漏率大于5×10-Pa·L/s的漏孔。3.5泵外部接触大气的螺栓必须有防冷焊措施。例如在烘烤前涂MoS236泵应当能在相对湿度低于85%温度为5~40℃的环境中长期工作。3.7被抽容器中应不含有机物气体或其他对泵有害的气体。38二极型泵不应连续抽除惰性气体;三极型泵对氩的抽速不得小于对空气抽速的20%39在压力低于5×10-Pa的条件下,泵应能连续抽除氢气。3.10按JB2965所规定的标准再生方法,泵应能获得再生性能4试验方法4.1泵的极限压力抽气速率、再生性能必须按JB2965所规定的程序进行试验。4.2泵的启动压力按JB2965所规定的烘烤程序,在进行不高于300℃的4h预烘烤后,启动离子泵进行测量。以泵能顺利启动时全压真空计所测得的最大压力作为启动压力。5检验规则51型式检验5.11在以下情况下进行型式检验:试制的新产品b.老产品在设计、工艺、材料等方面有较大改变或在停产一年以上再次投产时;c.批量生产时,每批抽检2台。如不合格则加倍抽检,再不合格则全部检验。机械电子工业部1991-07-22批准199207-01实施JB/T4082915.1.2试验项目启动压力b.极限压力y抽气速率d再生性能。52出厂检验5.21每台泵都必须进行出厂检验,合格后方可出厂5.22出厂检验项目为极限压力。6标记、包装、运输及贮存6.1标志6.1.1每台泵均须在适当位置固定产品标牌,其型式与尺寸应符合8的规定。产品标牌上须标明:产品型号及名称;b制造厂名称;泵的编号及制造年月d.泵的技术参数:极限压力,Pa抽气速率,L/s泵口内径,mm;专用电源供电电压,v专用电源容量,VA62包装621包装箱应坚固可靠,保证箱内产品在正常运行中不受损伤,箱内附件和技术文件完整无损。622包装箱标志应符合GB191规定。623每台泵出厂时应随带备件,并应带下列文件:产品合格证装箱单、使用说明书、征求用户意见卡,装入塑料袋内。6.3贮存6.3.1泵体内部应在真空状态下封存6.3.2泵不允许露天存放。应放置在防雨、防潮、无腐蚀的环境中。7质量保证期产品发货后自到站之日起一年内,如非因错误操作或其他灾害事故引起的泵的损坏制造厂应予以免费修理。附加说明:本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出并归口。本标准由机械电子工业部沈阳真空技术研究所负责起草。本标准主要起草人冯玉国。